发布时间: 2026-07-31 21:46
滨州日报/滨州网讯7月19日,记者从滨化集团电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会上获悉,该集团旗下大晟芯材成功实现6N级高纯氟化氢规模化量产,产品关键指标达国际一流水准,一举填补山东省高纯氟化氢产能空白,为国内先进制程芯片制造供应链自主可控再添关键支撑。
高纯氟化氢是芯片蚀刻、清洗环节不可或缺的核心原料,被誉为半导体产业的“化学雕刻刀”。6N级(99.9999%)高纯氟化氢是适配28纳米及以下先进制程的必需品,长期以来核心技术被海外企业垄断,国内多数产品普遍停留在5N级(99.999%),微小杂质差距直接制约国产芯片良率提升,是半导体领域典型“卡脖子”材料。
高纯氟化氢作为滨化首款落地的电子特气产品,关键金属离子杂质含量低于1ppb,与国际一流水平接轨。滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾介绍:“别小看这后面多出来的一个‘9’——在芯片制造中,金属杂质含量哪怕只高出几个ppb(十亿分之一),都可能导致芯片良率大幅下降。”
此次滨化集团技术突破绝非单点攻关,而是工艺、工程、检测、充装一套全流程系统创新成果:企业攻克多重精馏耦合、低析出设备...
