发布时间:2026-07-19 13:11
7月19日,滨化集团在高端半导体材料领域迎来双重里程碑——两项核心业务取得重大突破,标志着公司在“科技驱动,向上突围”战略征程上迈出关键一步。
上午, 北鲲计划——滨化集团电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会举行。 滨州市政府党组成员、副市长吕明涛,滨城区委书记单纪亮,市发展改革委、市科技局、市工业和信息化局、市科协主要负责同志,滨化集团董事长于江、总裁董红波共同启动投产发布仪式。
高纯氟化氢气体是半导体晶圆制造中干法蚀刻、腔体清洁等关键工艺的核心电子特气。滨化集团通过工艺、工程、检测、充装四方面技术突破,实现制备、生产、分析、包装的闭环控制, 产品品质达到6N等级(99.9999%),处于国内领先、国际一流水平,填补了山东省高纯氟化氢产能空白。
同时,由 中国化工学会组织的 “半导体先进制程用超高纯电子级氢氟酸关键技术与应用”项目成果评价会在滨化集团举行, 以中国科学院院士张锁江、中国化工学会副理事长兼秘书长方向晨等组成的专家组,经全面评审,一致认为该项目关键技术及产品指标达到国际先进水 平。
超高纯电子级氢氟酸 项目是山东省重点研发计划(重大科技创新工程)项目,由滨化集团联合天津大学共同完成。项目团队成功攻克氢氟酸纯化、高效吸附及清洗充装关键装备等技术瓶颈,实现连续化、规模化、稳定化生产。产品指标优于SEMI-G5级,已顺利导入14nm先进制程半导体终端客户, 品质和稳定性 获得行业头部企业认可。
近年来,滨化集团以 “北鲲计划”为战略牵引,深度实施“421科创战略”,持续攻克“卡脖子”技术。此次 高纯氟化氢气体投产,进一步完善了半导体先进制程关键材料的自主供应能力; 超高纯电子级氢氟酸通过国际先进 水平评价, 为国产化规模推广提供了坚实的工程化示范支撑。 两项重大突破是滨化集团坚持 “ 科技驱动、向上突围 ”发展理念 的重要成果,对保障我国集成电路产业链供应链安全稳定具有深远的战略意义。
来自:滨化人
